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極紫外光微影製程- 維基百科

極紫外光微影（英語：Extreme ultraviolet lithography，EUVL）又稱作超紫外線平版印刷術, 是一種使用極紫外光（EUV）波長的微影製程(lithography)技術，目前用於7奈米 ...

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