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Producer® Nanocure® 3 UV Cure | Applied Materials

製造奈米多孔低介電值薄膜的製程分為兩個步驟，第一步為以PECVD 法沉積有機矽玻璃「支柱」及熱不穩定有機相沉積，第二步為以紫外缐(UV) 固化去除不穩定相部分(因而產生 ...

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