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Chamber 半導體
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https://oldweb.icpdas.com/root/product/solutions/industrial_communication/fieldbus/devicenet/master/I-8124W/CVD%20DeviceNet%20Application_TC.pdf
半導體廠化學氣相沈積(CVD)與DeviceNet監控系統應用
手臂托著一片晶圓送進反應室(Chamber)的鏡頭,就是CVD操作的狀態。 CVD會在晶圓片上長出薄膜,薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金屬.
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