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半導體晶圓廠設備機臺維護保養預測之研究- 元照出版, 月旦知識庫

若不能妥善安排人力準時維護機台時，機台容易發生當機情況，在打開機台密閉反應艙（Tool Chamber）時，容易造成毒性氣體外洩至無塵室（clean room），造成維修人員健康 ...

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