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APC應用在半導體蝕刻製程之氣體回饋機制

此演算模型已實際應用在半導體廠內，使蝕刻製程的關鍵尺寸(Critical Dimension, ... FB)機制，來取得氣體的微調量；其次運用機台腔體(Chamber)射頻使用時間(Radio ...

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