好沉積速率慢快快沉積溫度低低高沉積層均勻性優秀一般較好2016/03/11 ALD PVD CVD 鍍膜製程優劣比較表真空鍍膜技術比較表項目原子層沉積(ALD) 物理式真空鍍膜(PVD) ...
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