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CMP slurry介紹| 簡單分類CMP研磨液種類 - 理財新手福利社

CMP slurry 在CMP 中同時扮演了化學反應與機械移除的作用。因此，CMP研磨液成分中，除了化學物質外，也包含研磨顆粒(abrasive) 的存在.

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