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CMP 機台 基本 架構
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化學機械平坦化- 維基百科,自由的百科全書
CMP 設備與晶圓生產中的拋光設備有相似之處(見上圖),但積體電路矽片中很多材料的加入以及金屬層的增加使得CMP設備不能如同拋光設備那樣簡單,而需要加入特別的過程獲得 ...
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