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CMP 機台 基本 架構
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應用材料公司上新開發CMP(CVD)系統- 壹讀
CVD可解決垂直3D NAND架構上所苛求的基本沉積挑戰。 應材強調,已有多家客戶決定採用今天推出的機台,「為客戶先進的3D 邏輯與記憶體晶片進行量產,彰顯了我們最先進 ...
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