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從散射測量對微影線上製程控制的研究

對於奈米微影製程¬而言，傳統CD的量測方式似乎接近半導體元件解析度的有效極限； ... 但是不論熱板溫度的校正誤差有多精確，似乎仍無法滿足目前奈米微影對CDU的嚴苛 ...

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