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有機金屬氣相磊晶系統及技術簡介

中文 的磊晶一詞意為：堆疊結晶體。所以無論 ... 份的硬體包括恆溫槽、原料瓶(bubbler)、質流控制 ... 生冒泡現象，故稱有機金屬材料瓶為MO bubbler.

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