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物理氣相沈積PVD -電子束蒸鍍（E-beam） | 國家實驗研究院

物理氣相沈積PVD -電子束蒸鍍（E-beam）. 蒸鍍技術原理目的. 物理氣相沉積（Physical vapor deposition，PVD）係利用物理過程來進行沉積薄膜的技術。

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