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在化學機械拋光後清潔半導體裝置基板之清潔組合物及方法

習知腐蝕抑制劑(如(例如)苯并三唑(BTA))可抑制半導體裝置中的銅腐蝕。然而，BTA及此類腐蝕抑制劑通常會在銅表面上殘留一疏水層，此進一步促進形成非所欲的高有機殘餘物 ...

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