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歐傑電子能譜分析儀(FE-AES) - MA-tek 閎康科技

... 光電子；AES是以電子束分析樣品表面來偵測Auger電子，而電子束的beam size較小，所以針對分析區域小於30um的樣品(如chip上的pad, 金手指…等) 可考慮由Auger分析。

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