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Antenna effect
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解释latch-up现象和Antenna effect? - 极术社区- 连接开发者与 ...
在芯片生产过程中,暴露的金属线或者多晶硅(polysilicon)等导体,就象是一根根天线,会收集电荷(如等离子刻蚀产生的带电粒子)导致电位升高。天线越长,收集的电荷也 ...
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