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積體電路的天線效應(Antenna Effect in IC) - BuBuChen的旅遊 ...

這篇文章裡所提到的天線效應(Antenna effect)是在指IC製造過程中，用電漿(Plasma)做乾式蝕刻（Dry etching)，所造成的IC可靠度問題。

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