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應用高分子手冊 - 第 47 頁 - Google 圖書結果

... 是用電子束微影的方法來製造,如用電子束進行微影,目前的缺點是商業化量產較低。 ... 微影製程有制限制角度散射 BAJ SCALPEL ( Scattering with Angular Limitation ...

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