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ASML第一台全新EUV極紫外光刻機交付售價高達1.45億美元

ASML EUV 光刻機目前還是第一代產品，EUV光源波長13.5nm左右，物鏡NA數值孔徑0.33，並發展了一系列型號。 最早量產出廠的是NXE:3400B，產能有限，晶圓產能 ...

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