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10年内突破2nm工艺瓶颈？ASML计划推出新一代EUV设备

ASML 将自2023上半年起提供客户0.55数值孔径(NA)的新一代EUV机台(目前版本为0.33NA)，号称可延长摩尔定律寿命至少10年。该公司副总裁Teun van Gogh ...

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