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三星與ASML達協議採購下一代High-NA EUV曝光機

韓媒《BusinessKorea》週四(30 日) 報導，三星電子和ASML 就引進今年生產的EUV 曝光機和明年推出高數值孔徑極紫外光High-NA EUV 曝光機達成採購協議。

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