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俄罗斯宣布新决定！ASML担心的事还是发生了 - 电子工程专辑

这种工艺覆盖180nm到1X nm的制程节点，涉及到全球75%以上的芯片代工产能。 可见，DUV光刻机根本不离开氖气。另外，EUV光刻机开机运行验证过程也需要。

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