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東京電子將向ASML提供面向新一代EUV的設備 - 日經中文網

日本半導體製造設備大型企業東京電子（Tokyo Electron）6月8日發佈計劃稱，將向同行業的荷蘭ASML和比利時的研究機構imec聯合運營的實驗室供應新一代 ...

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