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一台83億!ASML「天價EUV曝光機」,將掀資本支出大戰 - 商周
ASML 也早有準備。下一代高精準度EUV曝光設備型號為EXE:5000,數值孔徑為0.55,可用於2奈米節點以下晶片製造,如 ...
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