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ASML柏林廠火災最新：EUV設備零件產區受影響 - MoneyDJ ...

雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應能設法解決問題，不會影響DUV的產出及營收計畫；. →關於極紫外光(EUV)微影設備，火災影響了晶圓夾(wafer clamp)一部分 ...

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