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全方位微影技術介紹 - ASML

ASML 是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源，並推動EUV微影系統商用化，20多年來，ASML持續投入研發，克服各種艱難的技術挑戰。

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