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原子層沉積系統原理及其應用

鈍氣Ar 或N2 注入，沖洗帶走過多的第一前驅物 ... 原子層沉積(ALD) 之優缺點 ... 缺點. 1. 在一般製程溫度下，前驅物需要有良好的揮發. 性。 2. 沉積速率較低。

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