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直流濺鍍

... 氣(Ar)》為主，與靶材重量相近、且為惰性氣體，不與靶材反應，在惰性氣體中，屬含量較多，較為便宜氣體。 直流濺鍍的優點：鍍膜效率高、便宜. 直流濺鍍的缺點：當 ...

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