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上海：实施EDA生态建设专项行动，开展EDA软件技术攻关

... 化融资担保机构为本市集成电路装备材料企业提供融资担保服务，对担保费率不超过2% 对应发生的担保费部分，给予融资担保机构75% 的担保费用补贴。

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