產品規格. ☆ 適用於12" FOUP. ☆ 適用晶圓片尺寸: Ø300mm ± 0.20mm. ☆ 適用晶圓厚度 ... 旋轉塗佈機特點. ☆ 適用晶圓: 6吋/8吋有鐵框或無鐵框晶圓. ☆ 適用塗佈液: 光阻劑 ...
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