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光學遮斷式晶圓定位系統與半導體製程設備之整合

... 八吋晶圓及十二吋晶圓進行實驗測試。十二吋晶圓整合測試之定位準確度為0.30mm，定位精確度為0.10mm。 並列摘要〈TOP〉. This thesis implements a wafer positioning ...

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