... mm線徑的多面向歷史資料的分析,歸納結論如下:1. 8吋發生晶圓破片的機率大於6吋;12吋發生破片的機率大於8吋。晶圓破片率的學習曲線會因混合生產而有所影響。2. 隨著晶圓 ...
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