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3121-1FA 全自動12吋晶圓劈裂機

晶圓 尺寸, 8吋12吋. 晶粒尺寸, 2 ~ 150 mm. 鐵環尺寸, 12吋. 機台特性. 上CCD. X 軸上CCD 自動辨識不透光 ( ODR ) 產品. 下CCD. X 軸下CCD 機構協助上CCD 對刀軸線. 卡匣.

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