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十二吋矽晶圓在快速熱製程中溫度均勻性之研究

除了300 mm直徑(12吋) 厚度為0.725 mm之矽晶圓外，也討論100 mm直徑(4吋) 厚度0.6 mm，150 mm直徑(6吋) 厚度0.675 mm和200 mm直徑(8吋) 厚度0.725 mm的矽晶圓。結果顯示， ...

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