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Wafer notch 方向- 2023 - shoott.cfd

而8寸的wafer的notch都是統一的深度約1~1.25mm，角度~90deg，半徑0. 切割矽錠(ingot)成wafer： ... 如12吋晶圆规格要求Notch 方向为晶向< 110>±1°。

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