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Wafer Auto Inspection Machine (OM)全自動晶圓檢查機

全自動晶圓檢查機(OM)能協助客戶檢測如裂痕、缺角、 Particle、 變色、刮傷、髒污，最低至3µm以上的瑕疵，而能檢測晶圓尺寸範圍為8~12吋晶圓。

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