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深次微米矽製程技術 - 第 417 頁 - Google 圖書結果

在 8 吋晶圓製程,因製程工具很貴,必須充分利用,使工廠在不同區域之間( interbay )採用了 ... 吋晶圓製程,在同一區域之間( intrabay ) ,因晶圓直徑大,也要採用自動化。

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