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重複性晶圓搬運效率探討A study of the efficiency in repetitive ...

在晶圓廠中有兩種重量不同的晶圓盒，一種. 滿載8 吋晶圓的是6kg 重，另一種滿載12 吋晶圓. 的是9kg 重。如何設定適當的搬運條件，既不傷. 害員工身體健康且能有效率的產出 ...

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