... 均勻的成長厚度圖3.41 目前商用設備中產量最大的MOCVD磊晶系統,利用行星運轉概念整合公轉與自轉加熱盤,達成大面積溫度均勻性控制,可應用在2、4、6、8吋的基板設定, ...
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