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薄膜厚度輪廓測量儀(α-step) - MA-tek 閎康科技

量測一維表面輪廓; 藉由階差(step height) 量測薄膜的厚度(thickness); 深度(depth) 分析; 一維線性粗糙度分析; 分析樣品最大尺寸：200mm (8吋晶圓) ...

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