空氣源, 5 Kgf ∕ cm 2 ( 12 Ø Tube ) ; 晶圓尺寸, 2吋~ 6吋 ; 晶粒尺寸, 無 ; 雷切深度, 無 ; 鐵環尺寸, 10吋Flat Ring ( 內徑Ø 300 mm;外徑360 mm;t=1.0 ~ 1.3 mm ) ...
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