可用框尺寸:8 吋/ 6 吋; 可用晶圓尺寸:8 / 6 / 5 / 4 吋; 可用晶圓厚度:200um 或更厚(接觸平台)、250um 或更厚(不接觸平台); 產能:約40 秒/晶圓.
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