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晶圓切割製程的穩健設計－六標準差與田口實驗設計的應用

本文嘗試將六. 標準差的管理手法DMAIC 導入製程改善流程中，依據有系統、邏輯性的方法針對個案公司的晶圓切割製程. 作深入的分析，在改善階段更使用田口博士所提的穩健設計 ...

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