本系統可自動將 Load 區晶舟盒內晶圓經由機械手臂將Load1 區(P1)晶圓及2 區(P2)晶圓合併/單獨運送至Unload 區(Q3)石英晶舟(6 吋50 溝、6 吋27 溝)台上,或執行反向工程 ...
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