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北美智權報第293期：碳化矽SiC基板發展現狀淺析

碳化矽基板的尺寸主要有2吋（50mm）、3吋（75mm）、4吋（100mm）、6吋（150mm）、8吋（200mm）等規格，與矽晶圓類似，大尺寸的晶圓也是碳化矽基板的 ...

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