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無塵室原型完工18吋晶圓進入測試階段

此外Sematech也列出了未來18吋晶圓廠的一些初步規格，並修訂了具爭議的、在18吋晶圓廠時代用以生產晶片的平台式工具('platform tool)概念。所謂的18吋平台式工具概念， ...

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