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6吋晶圓厚度
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AZZURRO成功實現150mm(6吋)晶圓GaN-on-Si製造可顯著 ...
主要問題在於,由於矽基板和GaN的熱膨脹係數不同,在製程中會因為兩種材質間的晶格錯位而產生應力,進而形成曲度(bow)和薄膜厚度不均的問題。 曲度和薄膜 ...
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