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台積電5nm製程獨步天下隨之而來的一年用電量有多少？ - 聯合報

而極紫外光的波長僅有13.5 奈米，這也使得EUV光刻機成為了晶片廠攻克7nm、5nm甚至更高製程工藝的關鍵。 但是這個EUV光刻機除了售價高昂之外，其耗電也是 ...

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