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點燃5nm製程之戰光刻機巨頭推出光檢測殺手鐗

世界上僅有的幾家光刻機裝置製造商正在開發一種新型的晶圓檢測系統，以應對在發現先進晶片中發現缺陷的挑戰。在每個節點上，晶片的特徵尺寸越來越小， ...

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