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5奈米電路修補晶片背面FIB電路修補到底難在哪? - iST宜特

FIB (Focus Ion Beam)聚焦離子束電子顯微鏡，是利用鎵(GA+)離子源透過電場牽引成離子束，高速碰撞樣品表面產生二次離、電子收集後成像；而離子轟擊過程中 ...

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