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多晶鑽石刨平器：拋光墊的精密修整及硬脆材料的延性切割

圖一：CMP的製程示意圖，其中「鑽石碟」決定了晶圓與拋光墊的接觸面積和接觸壓力，因此 ... 著名的創新公司3M也生產具有「鑽石陣」特徵的「鑽石碟」。

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